微細なパターンといった場合100µｍ以下を想定しますが、インクジェットには描画できる最小値が存在します。
描画の最小線幅や最小ドットを決めているのは、主に液滴体積、液滴の配列方法、液と基材の接触角、基材の温度等です。
インクジェットでは特殊な処理をした基材を除けば、一般的には1ピコリットルの液滴で描画できる最小線幅は約30µｍ程度です。
これ以下の細い線幅を実現するにはインクジェット法ではなく、エアロゾルジェット法が用いられます。
また、液材によって吐出できるヘッドが異なりますので、当社ではヘッドの種類や描画領域面積、描画精度等から目的に応じて描画装置が選定できるように様々な装置がラインナップされています。
それぞれの装置の特徴や仕様が下記の表に記載されています。
