シングルノズルヘッド

シングルノズルヘッドとは

インクジェットヘッドは、液を吐出する穴をノズルに数によって「マルチノズルヘッド」と「シングルノズルヘッド」の2種類に分かれます。
どちらが研究開発を始めるに当たって適していると思いますか?

例えばシリコンウェハ全面にレジストを均一に塗布する場合を考えると、ほぼ全ての研究者はその面に膜を形成するならばマルチノズルヘッドを使わないと生産性が確保できないので当然のごとくマルチヘッドを選択するでしょう。しかしここに重要な落とし穴が待ち構えています。

数百のノズルからなるマルチノズルヘッドはその全てのノズルが正常な液滴吐出をしていないと、印刷時に抜けが発生したり一部の印刷品質が劣化するなどを不具合が発生します。また、あまり知られていませんが、不具合のあるノズルが周りのノズルに悪影響を及ぼし、すぐにヘッド全体の吐出が不安定となります。これではまともな実験や試作はできません。
液に問題があるのか、液の充填方法に問題があるのか、駆動波形に問題があるのか切り分けができないまま、インクジェットでの実現は難しいとなってしまうのです。ところが、シングルノズルヘッドはこの切り分けが容易です。何といっても1ノズルが正常に吐出すればいいのですから、その確率はマルチノズルヘッドの数百倍簡単になります。

また当社のシングルノズルヘッドである“GlassJet”ヘッドを用いれば、マルチノズルヘッドでは吐出が困難な高表面張力液や高粘度液、アタック性の強い液なども吐出が可能です。特にインクジェット開発で重要なポイントは液材開発ですから、最初から何が原因かはっきりしない中で、うまく吐出できなければ、液に問題があるかどうかさえ見極めができません。
このシングルノズルヘッドでも吐出できない液の要因をスクリニングできるだけで、液材の開発は劇的にスピードアップします。従って特に液材の開発はマルチノズルヘッドを用いていきなり開始してはいけません。
なお、当社の装置にはこのためシングルノズルヘッド搭載の装置やシングルとマルチ両方が搭載できる装置がラインナップされています。

シングルノズルヘッド

シングルノズルヘッドの種類

当社では2種類のシングルノズルヘッドをラインナップしています。

シングルノズルヘッド一覧