ハイブリッド式インクジェット描画装置｜フェムトジェット

MICROJET Corporation

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FemtoJetシリーズ

ハイブリッド式インクジェット描画装置

ピエゾ＋静電を同時に搭載

FemtoJet-1000HB

商品説明

本装置はピエゾ方式と静電方式の2タイプのインクジェットヘッドを同時搭載した、ハイブリッド式インクジェット描画装置です。フェムトリットル(fL)オーダーの微小液滴吐出が可能な静電方式を採用することで、これまで実現出来なかった線幅10μm以下のライン描画や非加熱で1000mPa･s以上の高粘度液吐出が可能となり、高精細なデバイス作製を実現しました。ピエゾヘッドは様々な種類のヘッドから選択でき、描画パターンに応じてヘッドを使い分けることが出来ます。ピエゾヘッドで膜を形成した上に静電ヘッドで超微細な回路を形成したり、静電ヘッドで高粘度液を用いてバンクを形成した後、ピエゾヘッドでこのバンク内に液を打ち込む等、これまででは不可能であった試作を1台で実現できます。

FemtoJetサンプル例1
【ランドライン】

ランド：ピエゾインクジェット
ライン：静電インクジェット
インク：銀ナノ粒子インク使用

FemtoJetサンプル例2
【マイクロレンズ】

レンズ：静電インクジェット
インク：UV硬化樹脂

特徴

ピエゾヘッド（1ノズル）＋静電ヘッド（1ノズル）の2ヘッド同時搭載可能
フェムト＆ピコリットルの液滴をデジタル制御
粘度0.5～1000mPa・sの液を非加熱で吐出
超微細パターニングと高速パターニングの両立
アライメント機能、高速度カメラ標準搭載

用途・実績例

金属ナノ粒子液による10μm以下のラインやドットの形成
UV硬化液によるマイクロレンズの形成
ハイブリッドパターニングにより1台で複合的なサンプル作製

概仕様

NanoPrinterの概仕様

※仕様は予告なしに変更することがあります。
※詳細な仕様は、お問い合わせください。

静電インクジェット