FemtoJet-1000,1000HB,2000,2000HB

商品説明

本装置はピエゾ方式と静電方式の2タイプのインクジェットヘッドを同時搭載した、ハイブリッド式インクジェット描画装置です。フェムトリットル(fL)オーダーの微小液滴吐出が可能な静電方式を採用することで、これまで実現出来なかった線幅10μm以下のライン描画や非加熱で1000mPa・s以上の高粘度液吐出が可能となり、高精細なデバイス作製を実現しました。ピエゾヘッドは様々な種類のヘッドから選択でき、描画パターンに応じてヘッドを使い分けることが出来ます。ピエゾヘッドで膜を形成した上に静電ヘッドで超微細な回路を形成したり、静電ヘッドで高粘度液を用いてバンクを形成した後、ピエゾヘッドでこのバンク内に液を打ち込む等、これまででは不可能であった試作を1台で実現できます。

FemtoJetサンプル例1(ランドライン_銀ナノ粒子インク使用)
FemtoJetサンプル例1【ランドライン】
  • ランド:ピエゾインクジェット
  • ライン:静電インクジェット
  • インク:銀ナノ粒子インク使用
FemtoJetサンプル例2(マイクロレンズ_UV硬化樹脂使用)
FemtoJetサンプル例2【マイクロレンズ】
  • レンズ:静電インクジェット
  • インク:UV硬化樹脂

特徴

  • ピエゾヘッド(1ノズル)+静電ヘッド(1ノズル)の2ヘッド同時搭載可能
  • フェムト&ピコリットルの液滴をデジタル制御
  • 粘度0.5~1000mPa・sの液を非加熱で吐出
  • 超微細パターニングと高速パターニングの両立
  • アライメント機能、高速度カメラ標準搭載

用途・実績例

  • 金属ナノ粒子液による10μm以下のラインやドットの形成
  • UV硬化液によるマイクロレンズの形成
  • ハイブリッドパターニングにより1台で複合的なサンプル作製

装置外観

FemtoJet外観

概仕様

FemtoJetのスペック概要

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